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Xianzheng Lu
Xianzheng Lu
Shanghaitech University
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Micromachined piezoelectric Lamb wave resonators: a review
X Lu, H Ren
Journal of Micromechanics and Microengineering, 2023
42023
An A0 mode Lamb-wave AlN resonator on SOI substrate with vertically arranged double-electrodes
H Cao, X Lu, H Ren
Journal of Micromechanics and Microengineering 32 (9), 095004, 2022
22022
A One-port Thermal-conductivity-compensated A0 Mode Al0.8Sc0.2N Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate
X Lu, L Lou, H Ren
2023 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), 1-4, 2023
2023
An One-port A2 Mode AlN Lamb Wave Resonator Based on SOI Substrate
X Lu, H Ren
2023 IEEE 18th International Conference on Nano/Micro Engineered and …, 2023
2023
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