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[PDF][PDF] 集成马赫-曾德尔干涉大量程高灵敏度压力传感器

张楠， 尹锐 - researching.cn
摘要提出了一种基于非对称马赫-曾德尔干涉(AMZI) 和3D 打印立体光刻树脂模块的大量程压力
传感器, 分析了传感器的特性, 推导的公式表明传感器的灵敏度与单臂长度成正比 …
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