[HTML][HTML] 非极化中子超镜用NiC 薄膜制作技术研究

靳鑫, 张众 - 光学仪器, 2017 - joi.usst.edu.cn
NiC/Ti 中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件, NiC 纳米薄膜的制作是实现NiC/Ti
多层膜的关键技术. 基于Ni 和C 的直流磁控溅射方法, 提出了一种NiC 联合溅射靶材的实现方法 …

非极化中子超镜用NiC 薄膜制作技术研究

靳鑫, 张众 - 光学仪器, 2017 - cqvip.com
NiC/Ti 中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件, NiC 纳米薄膜的制作是实现NiC/Ti
多层膜的关键技术. 基于Ni 和C 的直流磁控溅射方法, 提出了一种NiC 联合溅射靶材的实现方法 …

非极化中子超镜用NiC 薄膜制作技术研究

靳鑫, 张众 - 光学仪器, 2017 - joi.usst.edu.cn
NiC/Ti 中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件, NiC 纳米薄膜的制作是实现NiC/Ti
多层膜的关键技术. 基于Ni 和C 的直流磁控溅射方法, 提出了一种NiC 联合溅射靶材的实现方法 …