摘要现有主流光刻技术与设备变得越来越复杂的原因之一在于其仍然囿于线性光学光刻范畴,
未能突破光学衍射极限, 是衍射极限附近的光刻技术. 采用紫外, 可见或近红外等长波长光源进行 …