奈米科技的發展對於現代的科學, 工業, 甚至是我們的生活都是一項重要的改革.
由於尺寸的微小化, 使得物質的物理, 化學, 及生物特性都與原本相異. 本論文係以奈米的技術與 …

本計劃為三年計劃, 目的是新式元件結構奈米微晶粒記憶體奈米元件的製程.
在單晶矽鍺/鍺/形變矽薄膜與高介電常數材料方面, 由於元件尺寸的不斷縮微 …

在本論文中, 我們主要探討矽化鎳的材料特性應用在元件上, 熱穩定性是一大缺點,
因此我們使用鈦和鋯金屬來改善矽化鎳的熱穩定性. 在之前的研究, 對P+/N 接面而言 …

在先進互補式金氧半導體元件裡, 當接觸尺寸縮小至奈米等級, 源極及汲極的接觸電阻也會隨之
增加. 因此, 金屬矽化物的技術應用在源極及汲極已經被開發用來同時降低接觸電阻及接面寄生 …

場效電晶體元件與生物分子偵測的連結應用在未來的疾病診斷與防治是個重要且具發展淺力的
新興科技. 在此篇論文中, 我們選擇血液酸鹼值, B 型肝炎病毒X 基因的去氧核醣核酸(DNA) …

本文所探討的內容係以經由溶膠-凝膠法配製的化學溶液, 研究成長奈米微晶粒的機制.
我們以四氯化鋯, 四氯化鉿及四氯化矽為溶膠-凝膠溶液之前驅物, 旋轉塗佈於晶圓上形成薄膜 …

本計畫以研究多晶矽-氧化層-氮化矽-氧化層-半導體記憶體元件為主要方向,
第一部分為記憶體元件, 薄膜電晶體, 合金金屬矽化物及矽奈米線電晶體之整合型研究 …

在先進互補式金氧半導體元件裡, 當接觸尺寸縮小至奈米等級, 源極及汲極的接觸電阻也會隨之
增加. 因此, 金屬矽化物的技術應用在源極及汲極已經被開發用來同時降低接觸電阻及接面寄生 …

在醫學的檢測上開始以分子標誌診斷方式判斷, 治療方式也開始對引發疾病的分子做特定的治療
, 相當需要具有高效率且可以快速檢測分子的工具, 而現今的技術平台提供了一個可信賴, 快速 …

我研究的目的是使用的臨場(In-Situ) 沉積法來成長我的資料儲存層(Storage Layer),
首先利用此方法完成混合式(Hybrid) ONO 堆疊形成載子捕捉層(Trapping Layer) …