Elastic modulus of thin homogeneous films can be determined by indenting the specimen to
various depths and extrapolating the measured (apparent) E-values to zero penetration. The
paper shows the application of five approximation functions for this purpose: linear,
exponential, reciprocal exponential, Gao's, and the Doerner and Nix functions. Comparison
of the results for 26 film/substrate combinations has shown that the indentation response of
film/substrate composites can, in general, be described by the Gao analytical function. In …

Der Elastizitätsmodul dünner metallischer oder keramischer Schichten (Dicke 0.1 bis 10|
nm) kann mit verschiedenen Methoden bestimmt werden. In diesem Aufsatz werden drei
Methoden diskutiert: Nanoindentation, Balkenbiegung und Balkenresonanzmethode. Das
Prinzip jeder Methode wird erklärt und die Vorteile und Nachteile zusammengefaßt. Auch
werden praktische Hinweise gegeben, die aufgrund von Messungen an
hochmagnetostriktiven TbFe/FeCo-Viellagenschichten gewonnen wurden.