Анализируется процесс тепломассопереноса при выращивании слитков кремния в
ростовых установках с учетом реальной геометрии и теплофизических параметров
теплового узла. Проводятся исследования и устанавливаются закономерности влияния
тепловых экранов и свойств используемых материалов на распределение
температуры, термоупругих напряжений примесей кислорода в слитках кремния.