[PDF][PDF] 飞秒贝塞尔光束直写铌酸锂高深径比光子晶体结构

孙伟高, 季凌飞, 郑锦灿, 温亚楠… - Chinese Journal of …, 2022 - researching.cn
摘要具有深微孔结构的铌酸锂晶体可以成为具有优良光波选择性调制功能的光子晶体器件.
然而, 目前使用的聚焦离子束刻蚀, 化学刻蚀或常规激光制孔等方法很难获得光子晶体所需的 …