Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения

ЕВ Берлин, ЛА Сейдман, ВЮ Григорьев - 2018 - elibrary.ru
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в
увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с …

[PDF][PDF] Fabrication of high quality GaN nanopillar arrays by dry and wet chemical etching

D Paramanik, A Motayed, M King, JY Ha… - arXiv preprint arXiv …, 2013 - academia.edu
Top down fabrication method would be suitable for producing semiconductor nanopillar
arrays for device application only when four basic requirements are satisfied:(1) control over …