[PDF][PDF] 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm 极紫外光源
李逵， 孟润宇， 李睿晅， 张光银， 姚铭杰… - Chinese Journal of …, 2024 - researching.cn
摘要开发了由高重复频率(3 kHz) 高能量(3 mJ) 钛蓝宝石激光器驱动的极紫外和软X
射线高次谐波激光光源. 该光源系统在30 nm (光子能量为~ 45 eV) 波长附近实现了大于120 μW …
射线高次谐波激光光源. 该光源系统在30 nm (光子能量为~ 45 eV) 波长附近实现了大于120 μW …