La miniaturisation des composants électroniques qui permet aujourd'hui une intégration à
grande échelle a été possible grâce aux innovations des procédés de fabrication. Ces …

Avec la miniaturisation continue des circuits intégrés et le remplacement de l'oxydede
silicium par des diélectriques low-κ poreux à base de SiOCH, la fiabilité des …

Depuis plus d'un demi-siècle, le monde de la microélectronique est rythmé par une course à
la miniaturisation de son élément central, le transistor MOS, dans le but d'améliorer la …

L'objectif de cette étude est de fournir des éléments d'évaluation des futures technologies
CMOS au niveau circuit. Dans ce but, des kits de conception prédictifs sont élaborés. Ces …