Sensitivity characteristics of a wave height sensor based on a MEMS piezoresistive cantilever and waterproof film
T Hirayama, H Takahashi - Japanese Journal of Applied Physics, 2024 - iopscience.iop.org
This paper presents the frequency characteristics of a barometric pressure-sensing wave
height sensor employing a MEMS piezoresistive cantilever and a micromesh waterproof film …
height sensor employing a MEMS piezoresistive cantilever and a micromesh waterproof film …
低温環境下での空振計の性能評価─ 南極観測での応用の可能性─
村松弾， 市原美恵， 松島健， 金尾政紀， 山本真行 - 南極資料, 2023 - cir.nii.ac.jp
抄録 南極地域での空振観測を定常的に実施するためには, 省電力かつ低温環境に耐えうる空振計
が必要となる. 株式会社アコーと東京大学地震研究所が共同開発した新型空振計 …
が必要となる. 株式会社アコーと東京大学地震研究所が共同開発した新型空振計 …
MEMS 差圧センサを用いた流れ計測
高橋英俊 - 年次大会2023, 2023 - jstage.jst.go.jp
抄録 This study presents the development of a MEMS piezoresistive cantilever-type
differential pressure sensor and its applications. We originally developed the differential …
differential pressure sensor and its applications. We originally developed the differential …