[PDF][PDF] ЧИСЕЛЬНЕ МОДЕЛЮВАННЯ ІНДУКТИВНОГО ВИСОКОЧАСТОТНОГО ДЖЕРЕЛА ІОНІВ ІЗ ЗАСТОСУВАННЯМ ПАКЕТА COMSOL
ВІ Возний, ОГ Пономарьов - … (Протокол № 11 від 26.04. 2021 р …, 2021 - fizmat.sspu.edu.ua
У ІПФ НАН України ведуться роботи по дослідженню високочастотних (ВЧ) іонних
джерел з індуктивно-зв'язаною плазмою (ІСП)[1, 2]. Метою досліджень є розробка …
джерел з індуктивно-зв'язаною плазмою (ІСП)[1, 2]. Метою досліджень є розробка …