[PDF][PDF] 化学机械抛光中Si/Cu/Ta/low-k 界面剥离和断裂特性研究
杜诗文， 李永堂 - 机械工程学报, 2012 - qikan.cmes.org
超大规模集成电路随着布线层数增加和线宽的缩小, low-k 材料的介电常数进一步降低, 多孔low-
k 材料力学性能随之降低, 使得晶圆在化学机械抛光(Chemical mechanical polishing, CMP) …
k 材料力学性能随之降低, 使得晶圆在化学机械抛光(Chemical mechanical polishing, CMP) …
风沙粒子冲击钢结构涂层力学行为的理论与有限元分析
郝贠洪， 朱敏侠， 靳铁顺， 宿廷 - 应用力学学报, 2014 - pubs.cstam.org.cn
利用接触力学理论和三维有限元分析了钢结构受到风沙粒子冲击后其涂层表面接触区应力,
涂层内部应力, 涂层与基体界面上应力的分布规律. 分析结果表明: 涂层表面径向应力在接触中心 …
涂层内部应力, 涂层与基体界面上应力的分布规律. 分析结果表明: 涂层表面径向应力在接触中心 …
[HTML][HTML] 层状复合材料界面结合强度非传统评价方法
孙畅， 李龙， 周德敬 - 材料导报, 2018 - mater-rep.com
摘要简要总结了层状复合材料界面结合强度的非传统评价方法. 非传统界面结合强度评价方法
包括: 波振法(激光层裂法, 应力波法, 超声波法, 电磁波法), 划痕法(激光划痕法), 辅助分析法(X …
包括: 波振法(激光层裂法, 应力波法, 超声波法, 电磁波法), 划痕法(激光划痕法), 辅助分析法(X …
风沙冲击作用下涂层与基体界面应力、 位移及破坏机理研究
郝贠洪， 朱敏侠， 冯玉江， 任莹， 段国龙 - 应用力学学报, 2015 - pubs.cstam.org.cn
应用界面力学镜像点法及断裂力学理论分析了风沙冲击作用下钢结构表面涂层与基体的界面
问题. 分析结果表明: 冲击角度一定时, 界面应力随着冲击速度的增大而增大; 冲击速度一定时 …
问题. 分析结果表明: 冲击角度一定时, 界面应力随着冲击速度的增大而增大; 冲击速度一定时 …