MEMS-based piezoresistive and capacitive microphones: A review on materials and methods

A Kumar, A Varghese, D Kalra, A Raunak… - Materials Science in …, 2024 - Elsevier
Microelectromechanical systems (MEMS)-based piezoresistive and capacitive microphones
have gained significant attention due to their miniaturization, high performance, and diverse …

Акустоелектричні перетворювачі для контрольно-вимірювальних сенсорних систем

ОО Баранов - 2023 - essuir.sumdu.edu.ua
Пристрої поверхневих акустичних хвиль мають успіх в електронному світі, де домінують
інтегровані цифрові напівпровідникові схеми. Такі датчики використовуються в …