Structure and electrical conductivity of nanocomposite SiOxNy (Si) and SiAlzOxNy (Si) films
A Evtukh, A Kizjak, O Bratus, M Voitovych… - Journal of Alloys and …, 2023 - Elsevier
In this study, the peculiarities of the structure and electrical conductivity of nanocomposite
SiO x N y (Si) and SiAl z O x N y (Si) films in the temperature range of 95–340 K are …
SiO x N y (Si) and SiAl z O x N y (Si) films in the temperature range of 95–340 K are …
[引用][C] ПРОЦЕСИ ТРАНСПОРТУ, ЗАХОПЛЕННЯ І ЕМІСІЇ ЗАРЯДУ В НАНОСТРУКТУРОВАНОМУ ДІЕЛЕКТРИКУ СТРУКТУР МЕТАЛ-ДІЕЛЕКТРИК-КРЕМНІЙ
ВА ЄВТУХ - 2019 - … УНІВЕРСИТЕТ ІМЕНІ ТАРАСА …