A plasma reactor that contains vacuum–arc and magnetron sputtering sources and radio-
frequency discharge that generates high-density plasma in the presence of external …

Analysing a wide range of known methods for characterization of the thermal properties of
solids, the most effective methods for studying the multilayer systems are determined …

The results of the experimental investigation into parameters of the helicon discharge
plasma in a model of high-frequency hybrid plasma system equipped with a solenoidal …

Формирование инфраструктуры нанотехнологической сети включает создание научно-
исследовательских и метрологических инструментов, а также технологического …

В условиях возрастающего дефицита природных энергоносителей применение
электрического тока как источника тепловой энергии приобретает всё большую …

Представлены результаты разработки и оптимизации параметров экспериментальной
установки для нанесения покрытий из различных материалов, выполненной на основе …

Многофункциональная малогабаритная установка настольного типа с гибридной ион-
но-плазменной разрядной системой разработана в ОАО" НИИ точного …

Hereafter, we present our results on the implementation of aluminum nitride (AIN) as a
promising thermal interface material for improving heat performance of high-power micro …

Представлены результаты разработки, создания и оптимизации характеристик
плазменного реактора, в состав которого входят вакуумно-дуговой и магнетронный …

Разработана технология ионно-плазменного формирования массивов углеродных на-
нотрубок (УНТ) на подложках монокристаллического кремния, ориентированная на …