[HTML][HTML] Fabrication of MEMS devices-a scanning micro mirror case study
This paper presents the working principle, design, and fabrication of a silicon-based
scanning micromirror with a new type of action mechanism as an example of MEMS (Micro …
scanning micromirror with a new type of action mechanism as an example of MEMS (Micro …
Fabricación de sistemas MEMS–un caso de estudio en la fabricación de un micro-espejo
Este trabajo muestra un mecanismo de acción, un diseño y una fabricación de un nuevo
dispositivo de escaneo-un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los …
dispositivo de escaneo-un micro-espejo. Los micro-espejos se pueden encontrar en los …
[引用][C] Elementy MEMS-problemy technologii krzemowej na przykładzie procesu projektowania i realizacji mikrourządzenia skanującego
A Zarzycki, W Gambin - Przegląd Mechaniczny, 2010