Polishing of precision surfaces of optoelectronic device elements made of glass, sitall, and optical and semiconductor crystals: A review

YD Filatov - Journal of Superhard Materials, 2020 - Springer
Studies on the development of modern methods of precision surface polishing for the
production of electronic device and optical system elements from glass and optical and …

Quantum Mechanism of Optical Glass Polishing

YD Filatov - Journal of Superhard Materials, 2024 - Springer
As a result of studying the mechanism of optical glass polishing by means of disperse
systems from ceria powders, it has been established that glass is eliminated via the removal …

[PDF][PDF] Полірування прецизійних поверхонь елементів оптоелектронної техніки зі скла, ситалів та оптичних і напівпровідникових кристалів. Огляд

ЮД Філатов - Надтверді матеріали, 2020 - jnas.nbuv.gov.ua
Розглянуто роботи по створенню сучасних методів полірування прецизійних поверхонь
елементів електронної техніки та оптичних систем зі скла, оптичних і …